簡要描述:Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片,也稱為光束分離器,旨在通過在 EUV 和 NIR 波長之間提供高分離效率,用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用。 這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計(jì),支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍。
詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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組件類別 | 光學(xué)元件 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,電子 |
Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片
將 EUV 與 NIR 激光源分開
透射型熔融石英設(shè)計(jì)最大限度地延長組件使用壽命
支持 13.5nm、20nm 和 30nm 應(yīng)用
Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片,也稱為光束分離器,旨在通過在 EUV 和 NIR 波長之間提供高分離效率,用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用。 這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計(jì),支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍。 除了產(chǎn)生高次諧波外,這些反射鏡還可用于支持 EUV 應(yīng)用的系統(tǒng),例如 EUV 光刻、EUV 納米加工和等離子體實(shí)驗(yàn)。
通用規(guī)格
尺寸容差 (mm): | +0.0/-0.2 | 直徑 (mm): | 50.80 |
厚度 (mm): | 5.08 ±0.1 | 鍍膜: | Dielectric Multilayer AR |
基底: | Fused Silica | 表面質(zhì)量: | 20-10 |
平行度(弧分): | <5 | 面形計(jì)算 (RMS): | <λ/10 @ 633nm |
產(chǎn)品型號
波長范圍 (nm) | 產(chǎn)品編碼 |
10 - 25 | #18-279 |
20 - 40 | #18-280 |
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