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簡要描述：Layertec 反射鏡，輸出耦合器和鏡片銀鏡的反射率可以通過介電涂層來提高。必須精確指增強反射率的帶寬。在該頻帶之外，反射鏡的反射率可能低于標準銀鏡的反射率。
產(chǎn)品品牌：其他品牌廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2021-06-03訪 問 量：1154相關(guān)文章
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| 品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 組件類別 | 光學(xué)元件 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,電子,綜合 |
Layertec 反射鏡，輸出耦合器和鏡片
圖1：隨機偏光（a）的反射鏡（AOI = 45°）在193 nm下的測量的反射率和透射光譜（a）和在兩面都涂有193 nm氟化物AR涂層的CaF2窗口（b）
Ø所有氟化物系統(tǒng)均確保高反射率和高損傷閾值
ØPR涂層的公差為：
ر 2% for R = 10 ... 30 %
ر 3% for R = 30 ... 75 %
ر 2% for R = 75 ... 90 % and
ر 1% for R > 90 %
ØCaF2（肖特公司193nm受激準分子級）和熔融石英的高質(zhì)量鏡面基板，窗口片和透鏡
Ø根據(jù)客戶要求開發(fā)和生產(chǎn)特定組件，例如分束器和可變衰減器
Ø單波長增透膜，剩余反射率在AOI = 0°時R <0.25％，在AOI = 45°時R <0.6％（非偏振光）
Ø寬帶和多波長增透膜
可變衰減器
圖2：在不同的AOI（a）和透射率與AOI（b）下測得的可變衰減器的透射率光譜; 透射率從AOI = 0°時的T> 88％到AOI = 45°時的T <2％
Ø可根據(jù)要求提供不同傳輸范圍的衰減器
Ø衰減器可以與CaF2熔融石英的AR涂層補償板一起提供
鋁反射鏡
圖3：優(yōu)化了針對193nm的受保護Al鏡（a）和針對193nm的增強Al鏡（AOI = 45°（b））的測量反射光譜
增強鋁鏡：Rp
> 93%
Rs
> 99%
Rr
> 96%
有關(guān)鋁鏡的更多信息，請參見目錄中的96-97頁。
標準ArF激光元件的技術(shù)參數(shù)
Coating | Substrate | Damage threshold* | Lifetime test |
Fluoride coatings | |||
AR (0°, 193nm) R < 0.25% | CaF2 | 4 – 5 J/cm2 | 2.5 x 108 |
AR (0°, 193nm) R < 0.25% | fused silica | 2 – 3 J/cm2 | |
PR (0°, 193nm) R = 25% | CaF2 | 3 – 4 J/cm2 | 2.5 x 108 |
PR (0°, 193nm) R = 50% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 |
HR (0°, 193nm) R > 96% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 |
HR (45°, 193nm) R > 95% (random polarized) | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | |
Oxide coatings | |||
HR (0°, 193nm) R>92% | fused silica | <1 J/cm2 |
1）1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大學(xué)進行了測量
2）能量密度：18mJ / cm 2，重復(fù)頻率：4kHz，脈沖持續(xù)時間：30ns; 在哥德根的COHERENT AG進行測試
3）能量密度：55mJ / cm 2，重復(fù)率：1kHZ，脈沖持續(xù)時間15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試
4）能量密度：27mJ / cm 2，重復(fù)頻率：4kHz，脈沖持續(xù)時間：30ns; 在哥德根的COHERENT AG進行測試
5）能量密度：80mJ / cm 2，重復(fù)頻率：1kHz，脈沖持續(xù)時間：12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試
Layertec 反射鏡，輸出耦合器和鏡片
圖1：157nm的激光鏡（AOI = 0°，a）和轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°，b）的測量反射率和透射光譜
Ø激光鏡：AO = 0°時R = 92 ... 95％
Ø轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°）：
ØRs
> 97%
ØRp
> 90%
ØRr
> 92%
ØCaF2的高品質(zhì)鏡面基板，窗口片和鏡片（肖特公司157nm受激準分子級品質(zhì)）
Ø具有公差的PR涂層
ر 2 % for R = 10 ... 30 %
ر 3 % for R = 30 ... 75 % and
ر 2 % for R = 75 ... 90 %
Ø根據(jù)客戶要求開發(fā)和生產(chǎn)特定組件，例如分束器和可變衰減器
圖2：標準輸出耦合器在R = 50±3％和R = 25±2％時測得的反射光譜（背面未鍍膜）
可變衰減器
圖3：可變衰減器在不同AOI（a）和透射率與AOI（b）下測得的透射光譜透射率從AOI = 0°時的T> 75％到AOI = 45°時的T <5％
F2激光鋁鏡
圖4：受保護的Al鏡（a）和增強型Al鏡在157nm下的反射光譜（b）
受保護的鋁鏡（針對157nm進行了優(yōu)化）：R = 74 ... 78％
電介質(zhì)增強型鋁鏡：AOI = 0°時R = 94％
有關(guān)鋁鏡的更多信息，請參閱我們的目錄中的第96 - 97頁。
標準F2激光組件的技術(shù)數(shù)據(jù)
Coating | Spectral performance | Lifetime test |
HR (0°, 157nm) | R = 92 ... 95 % | 2 x 108 |
HR (45°, 157nm) | R = 90 ... 94 % (random pol.) | |
PR (0°, 157nm) | R = 50 ± 3 % | 2 x 108 |
PR (0°, 157nm) | R = 25 ± 3 % | 2 x 108 |
Attenuator | T = 67 ± 3 % | 5 x 107 |
Attenuator | T = 33 ± 3 % | 1 x 108 |
Beam splitter | T = 20 ± 3 % | 1 x 108 |
AR (0°, 157nm) | 0.3 ... 0.7 % |
*能量密度：25mJ / cm2，重復(fù)頻率：800Hz，脈沖持續(xù)時間：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試
**能量密度：15mJ / cm 2，速率：200Hz，脈沖持續(xù)時間：20ns; 在光電技術(shù)研究所（IPHT）耶拿研究所進行測試
***能量密度：20 mJ / cm2，速率：50Hz，脈沖持續(xù)時間：20ns; 在光電技術(shù)研究所（IPHT）耶拿研究所進行測試
反光鏡和部分反射鏡
Ø對于s和p偏振光，在AOI = 0°和AOI = 45°時R> 99.9％的HR腔和轉(zhuǎn)向鏡
Ø典型反射率：R> 99.95％
Ø對于特殊要求，我們保證R> 99.99％（帶腔環(huán)下降測量的交貨）
Ø光譜帶寬約70 nm，1 - 1 LIDT> 50 MW / cm2（cw）和> 50J / cm2（10 ns）
圖1：高功率腔鏡（a）和具有不同反射率的輸出耦合器（b）的反射光譜
分光鏡和輸出耦合器，反射率經(jīng)過精確調(diào)節(jié)
Reflectance | Tolerance |
R > 95% | ± 0.5% |
R = 80 ... 95% | ± 1% |
R = 10 ... 80% | ± 2% |
Ø泵浦鏡HR（0°，1064 nm）> 99.9％+ R（0°，808 nm）<2％
Ø光束分離器，合束器和掃描鏡
Ø另外，此處也介紹了Nd：YAG / Nd：YVO4激光器諧波的光學(xué)器件（在我們的目錄第40-45頁中）
圖2：導(dǎo)光鏡HR（1064 nm）+ PR（630-670 nm）的反射光譜在AOI = 45°（a）時的s-，p-和隨機偏振，以及在不同AOI時的隨機偏振（用作 掃描鏡）（b）
Ø薄膜偏振片
Ø分離光的s和p偏振分量（反射s偏振光并透射p偏振光）
Ø可以在AOI> 40°的情況下生產(chǎn)TFP，但是如果使用AOI≈55°（布魯斯特角），偏振是*的，并且會出現(xiàn)在寬波長范圍內(nèi)
Ø典型偏振比：AOI = 45°或55°時，Tp / Ts> 500
Ø可以進行極化比Tp / Ts高達10000的特殊設(shè)計
Ø較高的激光損傷閾值（適用于腔內(nèi)應(yīng)用）
Ø通過改進的空腔環(huán)形設(shè)置，可以高精度測量用于p偏振光的薄膜偏振片的透射率
圖3：對于s和p偏振光，AOI = 55°（布魯斯特角）的標準TFP的反射光譜
非偏振分束器
Ø對于AOI = 45°和不同程度的反射率，Rs?Rp（| Rs – Rp | <1.5％）的分束器
Ø最常見的類型：
o Rs，p = 66±1％
o Rs，p = 50±2％
o Rs，p = 33±3％
Ø所有具有背面AR（Rs?Rp≤0.6％）的非偏振分束器
圖4：3種類型的非偏振分束器的反射光譜（AOI = 45°）
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